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U1LM320-XX系列直线电机平台

U1LM200为单轴平台,由直线电机+光栅+精密导轨组成

U1LM320为单轴直线运动平台

采用有铁芯直线电机,推力大,载荷高;

光栅反馈,提升平台控制精度;

密闭的平台,增强使用安全性;

相比于U1LM240系列,此款电机具有更大的推力,更快的及速度,及更大的负载,满足客户比较大负荷的需求;

应用于:电子加工,半导体加工等行业。



参     数
U1LM320-100-200-300-400-500-600-800
有效行程 mm100200300400500600
800
光栅分辨率 nm100nm (数字量标配)可选配其他型号光栅分辨率或1vpp 模拟量
重复定位精度 nm≤±0.5μm
定位精度未校准±4μm/100mm(校准后可小于±1.5μm)
直线度 um±1.5±2.5±3.5±4±5±6.5±8
平面度 um±1.5±2.5±3.5±4±5±6.5±8
电机推力持续330N/峰值660N
最大速度2m/s
最大加速度(空载)5G
移动部分负载 kg12kg
水平负载 kg50kg
侧面负载 kg25kg





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