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MMS42微型直线平台

体积小巧、动态优异、超高精度、免维护、寿命长




MMS42系列微型直线平台:

采用了特殊定制的音圈电机,结合高分辨率光栅和精密交叉滚柱导轨,

特别适合一些对体积非常敏感的应用场景;

采用静音防蠕动导轨,可确保微小步距控制,

使用指定驱动器时,在实验室环境下,速度的测试数据波动低于1‰;

有非常优秀的动态性能及超高的精度;

使用寿命超长,长时间免维护使用。


参数/型号
MMS42
电机类型音圈电机
光栅类型增量式光栅0.1μm(可选最高1nm光栅,绝对值选配)
电机推力额定1N;峰值2.5N
加速度(空载)4G
材质铝合金6016-T6(可选不锈钢)
行程 mm20
最小步长 nm20nm(光栅分辨率高于4.88nm)
定位精度 μm±1μm(校准±0.5μm)
重复定位精度 μm±0.1μm(±50nm对应5nm以上光栅)
最大速度 mm/s200 mm/s
最大负载 kg1kg


MMS42.png