304永利

EN
< >
ABVT-Z垂直轴气浮运动平台

采用音圈电机和气浮导轨,无摩擦运动,具备了气浮平台的所有优点,

平台上下移动的平面为水平配置,

刚性优异,精度超高。


采用音圈电机和气浮导轨,无摩擦运动,具备了气浮平台的所有优点,

平台上下移动的平面为水平配置,

刚性优异,精度超高。



参     数
ABVT-Z20-Z38
有效行程 mm2038
光栅分辨率 μmsin\cos4.88nm(可选其它更高分辨率)
重复定位精度 nm±50
定位精度 nm±150
平面度 μm11.5
直线度 μm0.50.7
电机类型音圈电机
电机推力持续27N/峰值119N
持续45N/峰值192N
最大速度 mm/s50
最小步长nm10 (搭配nanopwm或者线性驱动器)
最大负载 kg6kg(采用气动恒力弹簧平衡)




图片20.png