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ABT-XY-360360超高精度直线平台

下轴采用双直线电机驱动、载荷大,

平台采用气浮导轨,无接触,不摩擦,少维护,速度快、刚性好,

采用纳米级光栅反馈,控制精度高。


ABT-XY-360360超高精度直线平台有普通材质版和陶瓷版两种。

两种材质的平台,下轴皆采用双直线电机驱动、载荷大;

平台采用气浮导轨,无接触,不摩擦,少维护,速度快、刚性好;

采用纳米级光栅反馈,控制精度高;

陶瓷版本采用了高纯度的氧化铝作为气浮结构件及导向原件,相对于花岗岩和金属而言,氧化铝陶瓷具有膨胀系数更小,且直线度、硬度、耐磨性更加的优点。


参     数
普通版陶瓷版
有效行程 mm360*360
光栅分辨率 nmsin\cos 4.88nm(可选其它更高分辨率)
重复定位精度 μm±0.15±0.1
定位精度 μm±0.5±0.3
平面度 μm±1±0.5
直线度 μm1.5
1
电机类型三相无铁芯直线电机
上轴电机推力持续90N 峰值310N
下轴电机推力持续219N*2  峰值750N*2
最大速度 m/s500mm/s

上轴空载加速度 g

4.5G
下轴空载加速度 g3G
最小步长 nm10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)
最大负载 kg50








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