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ABL250-X气浮平台

气浮平台采用气浮导轨,无接触,不摩擦,免维护、精度高、速度快等有优异的特点;

此直线平台可以按单轴使用,亦可搭配其他轴,组合成多轴平台机构,

广泛应用于精密加工,测试测量,扫描、半导体等行业。



ABL250-X系列气浮平台相较于前两种经济型磁力预载气浮台,体积更小,精度更高;

采用气浮导轨+直线电机+光栅尺反馈组合而成;

特点:精度高、速度快、载荷相对较大、直线度和平面度高。

只要气源等级达到,非常适用于无尘室环境中



参     数
ABL250-100-200-300
-400-500
-600
有效行程 mm100200300400500600
光栅分辨率 μm5nm(模拟量)可选配其他型号光栅分辨率
重复定位精度 nm±50±50±100±150±200±250
定位精度2μm/100mm(校准后可小于0.3μm/100mm)
平面度 μm±0.4±0.6±1
±1.5
直线度 μm±0.4±0.5±0.6±0.75±1±1.5
最大速度 mm/s2m/s
最大加速度(空载)2G
水平负载 kg35kg
水平负载 kg20kg





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