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ABRX-M150直驱气浮转台

高定位精度、高速度稳定性、

低跳动误差、载荷能力强,

可用于晶圆加工检测、生物检测、光学检测等高精度要求行业。

ABRX-M150直驱气浮转台 

可侧向放置使用,不会出现气浮抱死的问题;

采用直驱电机驱动,转矩高,在低速或高速时转动平滑;

气浮转台径向刚度大,可应用于曲面微加工或测试,在断电旋转和自动旋转时跳动误差保持一致。


规        格参         数
电机扭矩0.32Nm额定/1.2Nm峰值
最大转速
1000rpm
编码器线数7200line
编码器分辨率0.45sec(数字量对应0.1μm,可选1vpp更高分辨率)
重复定位精度≤±1sec
轴向最大负载(5bar)800N
径向最大负载(5bar)200N
轴向最大刚性(5bar)320N/μm
径向最大刚性(5bar)85N/μm
轴向最大跳动*<100nm
径向最大跳动*<100nm
综合耗气量18NL/min


ABRX-M150尺寸图.png