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TR23轴并联运动平台

采用并联结构方式,三轴驱动共同控制同一平台,可实现负载的精准定位和移动

TR23轴并联运动平台

是我司的特色产品,相比于其他的高端多自由度平台,我们具有高性价比。

三轴采用并联结构,各轴可配置步进电机或者伺服电机,控制器内部特有的控制算法,实现高精度的控制;

优化整体系统的刚性;

平台中部可有通光孔径;

适用于:科研、显微操纵、生物技术、半导体制造等。

规     格

参         数
Z轴最大行程±5mm
Z轴分辨率4.88nm
Z轴重复定位精度±0.2μm
位置稳定性±20nm
最大速度5mm/s
最大加速度2m/s
θX/θY最大行程±2.5°
θ轴分辨率0.15sec
θ轴重复定位精度±1sec
最大速度1°/s
最大加速度20°/s∧2
配重平衡方式气动衡力平衡(最小气压0.1MPa最大气压0.6MPa)
最大负载20kg


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