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LMT-XYZ一体式高精度直线平台

采用增量式数字光栅,精度高;

采用交叉导轨,刚度强,高负载,高导向精度;

Z轴采用音圈电机驱动,两个组合,结构紧凑;

适用于:半导体检测行业, 激光切割, 生物技术, 计量, 激光打标。


LMT-XYZ一体式直线平台

具有精度高、刚性高、负载大、导向性高;

增量式光栅采用非接触式安装,非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响;

交叉式导轨,减少摩擦,让运行更平滑,防止蠕变;

在原有的XY平台上直接搭载音圈Z轴,结构更紧凑,满足客户更多元的使用需求。



参     数
LMT-XY-200*200NFZ10
ABVT-Z20(气浮导轨)
有效行程 mm200*2001010
光栅分辨率 nm默认100nm数字量(可选1vpp模拟量或者其他分辨率)1vpp细分至5nm
重复定位精度 μm±0.3
定位精度μm±1±0.5±0.5
平面度 μm1085
直线度 μm1
1.51
电机类型三相无铁芯直线电机音圈电机音圈电机
电机推力持续60N/峰值210N
持续30N/峰值90N持续27N/峰值119N
最大速度 mm/s5005030
最小步长 nm200200100
最大负载 kg5(Z轴带气动恒力平衡配重)








LMT-XYZ尺寸图.jpg