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GLMT-XY超高精度直线平台

双电机驱动、双光栅反馈;

载荷大、精度高;

适用于生物基因测序、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、等高端行业。

GLMT-XY超高精度直线电机平台

下轴配备双直线电机驱动、搭配双光栅闭环反馈;

采用大理石作为基座,稳定性好、强度大、硬度高,在重负荷下保持高精度,抗磁,使用寿命长;

适用于生物基因测序、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、晶圆检测、等高端行业。


参     数
GLMT-XY-250*250-360*360
有效行程 mm250*250360*360
光栅分辨率 nmsin\cos 4.88nm(可选其它更高分辨率)
重复定位精度 μm±0.3
定位精度±1μm/100mm±1.5μm/100mm
平面度 μm±2±3
直线度 μm1.5
1.5
电机类型三相无铁芯直线电机
上轴电机推力持续220N 峰值440N
下轴电机推力持续330N*2  峰值660N*2
最大速度 m/s500mm/s

上轴空载加速度 g

4.5G
下轴空载加速度 g3G
最小步长 nm10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)
最大负载 kg15
30







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